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全新 Linnik 干涉物镜

Metrology, 产品, 新闻

Sensofar 十分高兴地宣布推出可选模块Linnik 干涉物镜。Linnik 物镜设计用于获得位于透明材料深处的表面或很难接触到的表面的干涉图像。Linnik 物镜的光机械设计包含两种相同的物镜——一种是用于参考表面的物镜,另一种是用于需检测表面的物镜。

结合两种明场物镜提供了各种可能性。可以使用超长工作距离(SLWD)物镜、高数值孔径物镜、水浸物镜或具有传统干涉仪不具备规格的任何物镜组。物镜组可以是两个50x 放大倍率的SLWD,用于测量PSI 倾斜表面,例如硅片,45 度斜率也不会碰触到物镜。另外,还可以使用一组20x 放大倍率的EPI,用于获得由玻璃保护水中所含的蛋白质晶体的图像。

尽管Linnik 物镜有很多优点,但它很难使用,且需要专业的对准技巧。通常会通过干涉滤光片使用长相干性光源,如绿色或红色LED。

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