照明光源
630nm
530nm
460nm
575nm
尺寸
毫米（英寸）
毫米（英寸）
物镜
明场
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| 数值孔径 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| 工作距离（毫米） | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 1.5 |
| 视场1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| 空间采样2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
| 光学分辨率3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.16 |
共聚焦 / Ai 多焦面叠加
| 系统噪声4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| 最大倾斜度5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| System noise4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximum slope5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
1 使用 3/2 英寸摄像头和 0.5 倍光学镜头时的最大视场角。 2 表面像素大小。 3 L&S: 线和空间。蓝光 LED 的数值。 4 系统噪声以垂直于光轴的校准镜上两次连续测量值之差测量。 5 在光滑表面上，可达 71º。在散射表面上，可达 86º。
干涉
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| 数值孔径 | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| 工作距离（毫米） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| 视场1 (µm) | 6756 x 5652 | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| 空间采样2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
| 光学分辨率3 (µm) | 1.87 | 1.08 | 0.47 | 0.35 | 0.26 | 0.20 |
PSI / ePSI / CSI
| 系统噪声4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | |||||
| 最大倾斜度5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| System noise4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | |||||
| Maximum slope5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
1 使用 3/2 英寸摄像头和 0.5 倍光学镜头时的最大视场角。 2 表面像素大小。 3 L&S: 线和空间。蓝光 LED 的数值。 4 系统噪声以垂直于光轴的校准镜上两次连续测量值之差测量。 5 在光滑表面上，可达 71º。在散射表面上，可达 86º。
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