Complete 3D Measurement Solution

此款S neox Five Axis 3D光学轮廓仪结合了高精度旋转模块和S neox 3D光学轮廓仪的先进检测和分析功能在指定的位置上实现全自动地3D表面测量，并结合在一起，完成全表面的3D立体测量。S neox 3D测量技术涵盖了广泛的尺度，包括轮廓变化（多焦面叠加技术)、亚纳米粗糙度（干涉测量技术）或需要更高横向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技术）的临界尺寸。

S neox Five Axis能够旋转样品,在圆周上相同高度的位置测量一系列3D形貌。SensoFIVE 软件合并相同高度的一系列单个3D形貌信息，得到高精度的环形样品表面的精确3D表面。然后合并不同的高度，系统可以在尖锐边缘和关键表面上提供完整的形状信息。

测量包含陡角的复杂曲面非常困难，因为阴影效应会阻止您在单次采集中获得完整的测量结果。有必要倾斜样品以便从两个不同的位置测量样品并将两个形貌结果组合以获得完整的测量结果。Five Axis旋转台允许样品沿相反方向定位以使整个表面可见。系统将获取单独的测量值，然后，将自动合并它们以获得完整的3D立体测量。

通过自动化程序，只需单击一下即可
测量样品的不同部分。友好的用户界
面允许您在没有任何约束的情况下找
到测量位置。然后关注样品的关键部
分并将其添加到自动化例程中。最后
点击”获取”，只需单击一下即可获
得所有测量部件。这是一种自动化测
量程序的快速简便方法。

我们的共聚焦和干涉测量技术允许您测量
具有任何级别的粗糙表面，从极粗糙（典
型的钢材表面）到大约1A的高反射表面 (
金刚石或镜面)。根据NPL、NIST和PTB粗
糙度标准，将我们的系统转换为重复且可
追溯的系统。多焦面叠加技术使系统对测
量大坡度提供了快速、简便地响应。