技术
共聚焦
干涉
PSI | ePSI | CSI
Ai 多焦面叠加
光源
630nm
530nm
460nm
575nm
尺寸
mm (英寸)
基座和立柱
控制台
物镜性能
明场
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| NA | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| WD (mm) | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 1.5 |
| FOV1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| Spatial sampling2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
| Optical resolution3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.16 |
共聚焦 / Ai 多焦面叠加
| System noise4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximum slope5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| System noise4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximum slope5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
1最大视场系 3/2” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间, 蓝光波长。 4根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑表面上，最多71º。在散射表面上，高达 86º
干涉
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| FOV1 (µm) | 6756 x 5652 | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| Spatial sampling2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
| Optical resolution3 (µm) | 1.87 | 1.08 | 0.47 | 0.35 | 0.26 | 0.20 |
PSI / ePSI / CSI
| System noise4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | |||||
| Maximum slope5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| System noise4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | |||||
| Maximum slope5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
1最大视场系 2/3” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间蓝光波长。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。对于干涉测量物镜、PSI，防震开启，10个相位平均值。控温房间，压电平台扫描仪实现0.01nm。绿色LED值（白色LED用于CSI）高清分辨率 5在光滑表面上，最多71º。在散射表面上，高达 86º。
系统配置
计算机和操作系统
| 计算机 | Latest INTEL processor Screen 3840×2160 pixels resolution (4K)(27″) |
| 操作系统 | Microsoft Windows 10, 64-bits |
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