Sensofar-Konfokal

Die Konfokaltechnologie ist in der Lage, die Oberflächenhöhe zu messen und konventionelle Bilder in optische Schnitte umzuwandeln. In diesen Bildern bleibt das Signal für die Bereiche innerhalb der Tiefenschärfe des Objektivs erhalten, wodurch der Bildkontrast sowie die laterale Auflösung und das Systemrauschen verbessert werden.

OPTISCHER AUFBAU

Für die 3D-Bildgebung müssen Daten aus allen Pixeln der Kamera erzeugt werden. Mit anderen Worten: Es muss ein konfokales Bild rekonstruiert werden. Dazu wird das Mehrfachschlitzbild so oft um ein Pixel verschoben, wie dies erforderlich ist, um die Kamera zu füllen. In jedem der verschobenen Mehrfachschlitze nimmt die Kamera ein Bild auf, und der konfokale Algorithmus wird auf die in diesem Moment beleuchteten Pixel angewendet.

Ein revolutionärer Schritt in der konfokalen Messtechnik, der die Erfassungszeit stetig um den Faktor 3 reduziert. Der kontinuierliche konfokale Modus vermeidet die diskrete (und zeitaufwändige) Erfassung der einzelnen Ebenen im klassischen konfokalen Modus durch gleichzeitiges Scannen in der Ebene und auf der Z-Achse. Unverzichtbar für die Reduzierung der Erfassungszeiten bei großflächigen Scans und großen Z-Scans.

Die Konfokal-Profilierung liefert dabei die höchste laterale Auflösung bis zu 0,15 μm. Die Reduzierung der räumlichen Abtastung auf 0,01 μm erweist sich als ideal für die Vermessung kritischer Dimensionen. Objektive mit hoher numerischer Apertur (0,95) und starker Vergrößerung (150X) ermöglichen die Vermessung glatter Oberflächen mit steilen Flanken von über 70º (bis 86º bei rauen Oberflächen).  

  Beste laterale Auflösung: 300 nm (Rayleigh- Kriterien) 

  Flanken bis 70° bei glatten Oberflächen und 86° bei rauen Oberflächen 

  Kontinuierlich konfokal: Geschwindigkeit vergleichbar mit AiFV 

  Hohe Wiederholbarkeit, Systemrauschen auf bis zu 1 nm reduziert

  Stärkemessungen von 1,5 μm bis mehrere mm 

  Höchste Flexibilität