テクノロジー
フリンジプロジェクション
光源
530nm
460nm
寸法
mm (inch)
ベース & コラム
対物レンズ
MAG | 0.243X |
NA | 0.015 |
WD (mm) | 80 |
FOV1 (mm) | 34.7 x 29.1 |
空間サンプリング2 (µm) | 14.2 |
光学解像度3 (µm) | 9.35 |
1 3/2インチカメラによる最大視野。 2 表面のピクセルサイズ。 3 L&S: ライン&スペース。青色LEDの値。
XYステージ性能
XY | 電動 | ||
手動 | M | XL | |
移動量 (mm) | 150 x 100 | 154 x 154 | 302 x 302 |
不確かさおよび再現性
標準片 | U、σ |
段差高さ | U=2.5 µm、σ= 0.05 µm |
面粗さ (Sa) | U=1 µm、σ=0.01 µm |
線粗さ (Ra) | U=1 µm、σ=0.05 µm |
コンピュータ & OS
コンピュータ | 第8世代 Intel® Core™ i7プロセッサ ディスプレイ3840×2160ピクセル解像度 (4K)(27インチ) |
OS | Microsoft Windows 10、64 ビット版 |