Sensofarフリンジプロジェクション
フリンジプロジェクションは、大面積の測定に最適です。低システムノイズで垂直方向の高い精度と繰り返し性を実現します。
背景
フリンジプロジェクションの原理
サンプルに対し、一定の角度から立体光を投影し、反射光をカメラでとらえます。投影パターンは表面に投影されると修正され、高さの変化とフリンジパターンの相関によって、3D画像を取得できます。
光学系
サンプルの観察範囲に、均一で焦点の合った等距離のフリンジパターンを投影するために、バイセントリックレンズとともにscheimpflug設定が使用されます。視野内の対象の距離や位置に関わらず一定の倍率が得られ、測定目的に最適な設計です。
主な特長
1回でデータを取得可能
大面積の測定に最適、垂直方向の高い精度と繰り返し性（σ = 0.01 µm）、システムノイズを0.5 µmまで低減
像の忠実なカラー
Z軸走査はなし
フリンジプロジェクションシステム
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