高い柔軟性、クリーンルーム対応
Highest flexibility compatible with
Cleanroom
Cleanroom
S neox Cleanroom は、光学計測において前例のない技術的なマイルストーンです。生産環境において最高の汎用性を持ちます。
S neox は、ISO クラス 1 および ESD 対応という厳しいテストに合格するために注意深く設計されています。
また、ピエゾ式Zモータをオプションで追加することにより、S neoxは光学計測において最高の性能を発揮します。50nmから5mmまでの厚み測定も可能です。
当社の装置は、測定に最適な取得設定を見つける機能を搭載しています。表面に焦点を合わせるだけで、あとはS neoxクリーンルームが行います。
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