Profiler-Technologien
Lichtquellen
630nm
530nm
460nm
575nm
Abmessungen
mm (Zoll)
mm (Zoll)
Objektivlinsen
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| NA | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 | 0.90 |
| WD (mm) | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | 1.5 |
| FOV1 (µm) | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 | 113 x 94 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.16 |
Konfokal / Ai Fokus Variation
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximale Neigung5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
| MAG | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| Systemrauschen4 (nm) | 100 | 30 | 8 | 4 | 3 | 2 |
| Maximale Neigung5 (º) | 9 | 17 | 27 | 53 | 64 | 64 |
1 Maximales Sichtfeld mit 3/2″-Kamera und 0,5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line & Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zwischen zwei aufeinanderfolgenden Messungen auf einem senkrecht zur optischen Achse angeordneten Kalibrierspiegel. 5 Auf glatten Oberflächen, bis zu 71º. Auf streuenden Oberflächen, bis zu 86º.
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| FOV1 (µm) | 6756 x 5652 | 3378 x 2826 | 1689 x 1413 | 845 x 707 | 338 x 283 | 169 x 141 |
| Räumliche Abtastung2 (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
| Optische Auflösung3 (µm) | 1.87 | 1.08 | 0.47 | 0.35 | 0.26 | 0.20 |
PSI / ePSI / CSI
| System noise4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm | |||||
| Maximum slope5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
| MAG | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| System noise4 (nm) | PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm | |||||
| Maximum slope5 (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0,5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0,01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung. 5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
Gantry XY-Tisch
| Positionierungssystem | Zweiachsige Gantry: XY-Verschiebung des Kopfes |
| Verfahrbereich (mm) | 600 x 600 |
| Verfahrgeschwindigkeit | Max. 1m/s |
| Steuerungstyp | Linearer Regelkreis |
Zertifizierung
Dieses System wurde sorgfältig entwickelt, um verschiedene Industriestandards wie SEMI S2 und S8 zu erfüllen, und wurde außerdem vom TÜV Rheinland zertifiziert.
Der S neox Cleanroom Reinraum-Sensorkopf wurde sorgfältig entwickelt, um mit der ISO-Klasse 1 und ESD-kompatibel zu sein.
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