3D shape and texture measurements on the micro and nano-scales using a new dual-technology optical sensor head
Inhaber mehrerer Patente auf dem Gebiet der optischen Oberflächenmesstechnik.\n
Mitglied des technischen ISO 25178-Ausschusses.\n
Mitbegründer von Sensofar im Jahr 2001. Als Forscher im Bereich Optik arbeitet Roger seit 1997 im Zentrum für Sensoren, Instrumente und Systementwicklung (CD6). Er ist seit 2005 Mitglied des TG WG16 Komitees für die ISO-Norm 25178, die auch auf die von Sensofar entwickelten Geräte angewendet wird. Derzeit ist er Präsident und CTO bei Sensofar Tech SL.\n
3D shape and texture measurements on the micro and nano-scales using a new dual-technology optical sensor head full article
Roger Artigas1, F. Laguarta1, C. Cadevall1, M. Novella1, F. Rominski1, A. Wójt1
1Universitat Politècnica de Catalunya (UPC) Rambla Sant Nebridi, 10, E-08222 Terrassa, Spain.
January 2004, VDI-Berichte
Abstract
New material applications and novel manufacturing processes are driving a systematic rise in market demands concerning surface inspection methods and the performance of non-contact profilers. However, analysis of the specifications and application notes of commercial optical profilers shows that no single system is able to offer all the features a general purpose user would like simultaneously. In this paper we introduce a new dual-technology (confocal & interferometer) illumination hardware setup. With this new sensor head it is possible to choose between standard microscope imaging, confocal imaging, confocal profiling, Phase Shift interferometers and white light interferometry, by simply placing the right objective on the revolving nosepiece.
