Anwendungen
Unsere Produkte sind darauf ausgelegt, Inspektionsanforderungen im Bereich Halbleiter, Mikroelektronik, Optik und Oberflächenveredelung zu erfüllen. Sowie die Anforderungen der großen Märkte der fortgeschrittlichen Fertigung und Unterhaltungselektronik abzudecken.
Unsere Produkte sind darauf ausgelegt, Inspektionsanforderungen im Bereich Halbleiter, Mikroelektronik, Optik und Oberflächenveredelung zu erfüllen. Sowie die Anforderungen der großen Märkte der fortgeschrittlichen Fertigung und Unterhaltungselektronik abzudecken
Fallstudien
In-situ-Metrologie zur Überwachung der Poliertuch-Oberfläche bei der CMP
Der Bedarf nach der Vermessung der Oberfläche liegt im Rahmen des CMP-Verfahrens auf der Hand, immerhin ist die mechanische Interaktion zwischen den Oberflächen bei allen Prozessschritten eine [...]

