SMT
本研究では、照明器具向けの大型有機光ダイオード(OLED)の製作が課題でした。これには、デバイスの電流を抑えて抵抗損失を防ぐために、見えない状態でOLEDを直列接続することが求められました。選択的に層を構造化するために、フェムト秒レーザーを使用しました。
生物学応用向けナノプレッシャーセンサーの製造では、犠牲層エッチングと、ファブリ・ペロ共振器を形成するために真空で分離された2枚の薄膜のシーリングが極めて重要です。