寸法
mm (inches)
重量: 3.6 Kg (7.9 lbs)
テクノロジー
Interferometry
VSI
光源
550 nm
対物レンズ性能
Interferometry
| 倍率 | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
| WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| FOV1 (µm) | 5040 x 3780 | 2520 x 1890 | 1260 x 945 | 630 x 472 | 252 x 189 | 126 x 94 |
| 空間サンプリング2 (µm) | 7.88 | 3.94 | 1.97 | 0.98 | 0.39 | 0.19 |
| 光学分解能3 (µm) | 7.62 | 3.81 | 1.91 | 0.95 | 0.38 | 0.23 |
CSI
| システムノイズ4 (nm) | 1 | |||||
| Maximum slope5 (º) | 3 | 8 | 14 | 21 | 25 | 42 |
Other objectives available: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik
1 カメラと0.5倍の光学系による最大視野 2 表面上のピクセルサイズ。 3 L&S: ラインとスペース、レイリー基準による回折限界の半分の値。緑色の LED の値。空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。 4 システムノイズは、光軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラーの2回の連続測定の差として測定されます。VC-E 振動環境で取得される値。 5 滑らかな面上での値。
Z 性能
| Z | LINEAR SCALE |
| Vertical range | 40 mm (1.6″) |
| Linearity | <0.5 µm/mm |
| Resolution | 2 nm |
再現性
| Step height repeatability | <3 nm |
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