CMP工程のあらゆる段階で表面間の機械的相互作用が重要な可変要素であるとすれば、CMP工程における表面計測の必要性は明らかです。工程を通じて定期的に特性評価が必要な表面は、調整盤、ウエハー、パッドの表面です。
消費者エレクトロニクス
このケーススタディでは、LinkamとSensofar Metrologyは、温度制御光学プロファイロメトリ実験のための実験セットアップを生み出すための彼らの協力を示しています。
私たちは、増強放出（パーセル効果）をもたらすフォトニック（PhC）結晶のキャビティ（図1のa）または光子多重化デバイスを形成する導波路（WG）（図1のb）に埋め込まれた量子ドット（QD）の光学特性を研究しています。
本研究は増強放出（パーセル効果）をもたらすフォトニック（PhC）結晶のキャビティまたは光子多重化デバイスを形成する導波路（WG）に埋め込まれた量子ドット（QD）の光学特性に基づいています。
本研究では、照明器具向けの大型有機光ダイオード（OLED）の製作が課題でした。これには、デバイスの電流を抑えて抵抗損失を防ぐために、見えない状態でOLEDを直列接続することが求められました。選択的に層を構造化するために、フェムト秒レーザーを使用しました。
生物学応用向けナノプレッシャーセンサーの製造では、犠牲層エッチングと、ファブリ・ペロ共振器を形成するために真空で分離された2枚の薄膜のシーリングが極めて重要です。